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エキシマーレーザ用ホモジナイザ


エキシマーレーザ用ホモジナイザは、レーザビームを入射するだけで容易に均一 なエリアを作り出すことができます。正方形や長方形などのタイプがあります。 シンプルなオプティクスで構成されているため、 安価でありながら丈夫であるという利点があります。




[種  類]
1.5x5分割タイプ:正方形の形状
2.7x7分割タイプ:正方形の形状
3.長方形タイプ
4.スリットタイプ
[オプション]
 サイズを変更するとき:      レンズを追加します
 エッジを立たせるとき:     マスクとレンズを追加します
 均一度を上げたいとき:     シリンドリカルレンズとコリメーターレンズを追加します

<図3 スリットビームの分布例>